INVERSION DEVICE, IMAGING DEVICE, INVERSION METHOD, AND IMAGING METHOD

The present invention inverts polysilicon, the shape and/or size of which is different, for imaging of the polysilicon. An inversion device (3) comprises: a first sandwiching part (31) that has a first elastic deformation part (311) which elastically deforms; a second sandwiching part (32) that has a second elastic deformation part (321) which elastically deforms; and an inversion mechanism (33A, 33B) that inverts polysilicon (S) for imaging of the polysilicon (S), in a state where the polysilicon (S) is sandwiched between the first elastic deformation part (311) and the second elastic deformation part (321). Selon l'invention, des polysiliciums de formes et/ou de tailles différentes sont inversés afin d'effectuer une imagerie de polysiliciums. Le dispositif d'inversion (3) de l'invention est équipé : d'une première partie enserrement (31) qui possède une première partie déformation élastique (311) se déformant de manière élastique ; d'une seconde partie enserrement (32) qui possède une seconde partie déformation élastique (321) se déformant de manière élastique ; et des rainures d'inversion (33A, 33B) destinées à inverser les polysiliciums (S) afin d'effectuer une imagerie de polysiliciums (S), dans un état d'enserrement dans lequel les polysiliciums (S) sont enserrés entre la première partie déformation élastique (311) et la seconde partie déformation élastique (321). ポリシリコンの撮影のために形状及びサイズの少なくとも一方が異なるポリシリコンを反転させる。反転装置（３）は、弾性変形する第１弾性変形部（３１１）を有する第１挟持部（３１）と、弾性変形する第２弾性変形部（３２１）を有する第２挟持部（３２）と、第１弾性変形部（３１１）と、第２弾性変形部（３２１）との間でポリシリコン（Ｓ）が挟持された挟持状態で、ポリシリコン（Ｓ）の撮影のためにポリシリコン（Ｓ）を反転させる反転機構（３３Ａ，３３Ｂ）と、を備える。