AUXILIARY VACUUM PUMPS COMBINATION SYSTEM

The present invention concerns an auxiliary pumping system (1000) for evacuating an equipment chamber (1), comprising a primary pump (12), an intermediate vacuum chamber (10) connected to the primary pump (12) through a vacuum conduit (14), and a high-pressure Non-Evaporable Getter (NEG) pump contained in the intermediate vacuum chamber (10), wherein the vacuum conduit (14) has a length comprised between 5 and 200 cm and the ratio between the volume of the high-pressure NEG pump and the volume of the intermediate vacuum chamber (10) is comprised between 0.022 and 0.540. La présente invention concerne un système de pompage auxiliaire (1000) pour évacuer une chambre d'équipement (1), comprenant une pompe primaire (12), une chambre à vide intermédiaire (10) reliée à la pompe primaire (12) par l'intermédiaire d'un conduit à vide (14), et une pompe Getter non évaporable à haute pression (NEG) contenue dans la chambre à vide intermédiaire (10), le conduit à vide (14) ayant une longueur comprise entre 5 et 200 cm et le rapport entre le volume de la pompe NEG à haute pression et le volume de la chambre à vide intermédiaire (10) étant compris entre 0,022 et 0,540.