SPRAY-COATED ELECTROSTATIC CHUCK DESIGN

Embodiments of the disclosure include a substrate support including a metal body with a substrate face, a plurality of lift pin holes formed in the body, and a dielectric coating disposed on the substrate face of the body. Each of the plurality lift pin holes includes a through hole and a chamfer fa...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	WADA, Yuichi, KOH, Tuck Foong, BABU, Sarath
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Embodiments of the disclosure include a substrate support including a metal body with a substrate face, a plurality of lift pin holes formed in the body, and a dielectric coating disposed on the substrate face of the body. Each of the plurality lift pin holes includes a through hole and a chamfer face configured to mate with a lift pin sleeve. The dielectric coating includes a substrate supporting surface, a thickness, and a pattern disposed in the substrate supporting surface. Dans certains modes de réalisation, l'invention concerne un support de substrat comprenant un corps métallique pourvu d'une face pour substrat, une pluralité de trous de broche de levage ménagés dans le corps, et un revêtement diélectrique disposé sur la face pour substrat du corps. Chacun de la pluralité de trous à broche de levage comprend un trou débouchant et une face de chanfrein conçue pour s'accoupler avec un manchon de broche de levage. Le revêtement diélectrique comprend une surface de support de substrat, une épaisseur et un motif disposé dans la surface de support de substrat.