JIG FOR SUBSTRATE HOLDER, SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, AND PRODUCTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE

Provided is an invention configured so that a substrate holder comprising a plurality of pillars linking at least a bottom plate and a top plate is mounted thereto, said invention having: a first index part configured so that when the substrate holder, which has a notch in at least the bottom plate, is mounted thereto, the first index part coincides with the notch; and a second index part which, when the substrate holder is moved to a second position for transferring a substrate, shows the direction in which the substrate can be transported, wherein when the substrate holder is moved to the second position, the notch and the first index part are made to coincide so that the second index part and the pillars are separated, and the substrate holder is mounted. La présente invention est conçue en sorte qu'un support de substrat, comprenant une pluralité de piliers reliant au moins une plaque inférieure et une plaque supérieure, y est monté, ladite invention comprenant : une première partie d'indice conçue en sorte que, lorsque le support de substrat, qui est équipé d'une encoche dans au moins la plaque inférieure, y est monté, la première partie d'indice coïncide avec l'encoche ; et une seconde partie d'indice qui, lorsque le support de substrat est déplacé vers une seconde position pour transférer un substrat, indique la direction dans laquelle le substrat peut être transporté, lorsque le support de substrat est déplacé vers la seconde position, l'encoche et la première partie d'indice étant amenées à coïncider en sorte que la seconde partie d'indice et les piliers sont séparés, et le support de substrat est monté. 少なくとも底板と天板を連結する複数の支柱を備えた基板保持具が載置されるように構成され、少なくとも前記底板に切欠部を有する前記基板保持具が載置されるときに前記切欠部と合うように構成される第１指標部と、前記基板保持具を基板の移載を行うための第２のポジションに移動したときに前記基板を搬送することが可能な方向を示す第２指標部と、を有し、前記基板保持具を前記第２のポジションに移動させる場合、前記第２指標部と前記支柱が離れるように前記切欠部と前記第１指標部を合わせて前記基板保持具を載置されることが可能な技術が提供される。