FORMING METHOD FOR PRODUCING NANOSTRUCTURES, AND DEVICE FOR PERFORMING SAID METHOD

Umformverfahren zur Herstellung von Nanostrukturen sowie eine zur Durchführung bestimmte Vorrichtung Die Erfindung betrifft ein thermisches Umformverfahren, insbesondere Druckumformverfahren, zum Einbringen von Strukturen, insbesondere Mikro- oder Nanostrukturen, in eine Oberfläche (2) eines Substra...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	LEOPOLD, Tobias, HIRT, Simon
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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