FORMING METHOD FOR PRODUCING NANOSTRUCTURES, AND DEVICE FOR PERFORMING SAID METHOD

Umformverfahren zur Herstellung von Nanostrukturen sowie eine zur Durchführung bestimmte Vorrichtung Die Erfindung betrifft ein thermisches Umformverfahren, insbesondere Druckumformverfahren, zum Einbringen von Strukturen, insbesondere Mikro- oder Nanostrukturen, in eine Oberfläche (2) eines Substrats (3) mittels eines Formstempels (4). Hierzu wird die Oberfläche (2) des Substrats (3) durch eine Laserstrahlung (5) partiell bis oberhalb der Erweichungstemperatur erwärmt und anschließend eine Negativstruktur einer Stempelfläche (6) des Formstempels (4) in die verformbare Glasmasse mit einem definierten Druck durch eine Umformkraft (F) eingeprägt. Um die thermische Energiezufuhr auch während dieser Umformung aufrechtzuerhalten und insbesondere eine konstante Temperatur während des gesamten Umformprozesses mit einer homogenen Temperaturverteilung über die gesamte Stempelfläche (6) sicherzustellen, bestehen der Formstempel (4) sowie die Stempelfläche (6) aus einem für die Wellenlänge der Laserstrahlung (5) transparenten Material. The invention relates to a thermal forming method, in particular a pressure-forming method, for introducing structures, in particular microstructures or nanostructures, into a surface (2) of a substrate (3) by means of a forming die (4). In said method, the surface (2) of the substrate (3) is partially heated by laser radiation (5) to above the softening temperature, and subsequently a negative structure of a dye surface (6) of the forming die (4) is impressed into the deformable glass mass at a defined pressure by a forming force (F). In order to maintain the thermal energy supply also during this forming process and, in particular, to ensure a constant temperature during the entire forming process with a homogeneous temperature distribution over the entire die surface (6), the forming dye (4) and the dye surface (6) are made of a material that is transparent to the wavelength of the laser radiation (5). L'invention concerne un procédé de formage thermique, en particulier un procédé de formage sous pression, qui est destiné à introduire des structures, en particulier des microstructures ou des nanostructures, dans une surface (2) d'un substrat (3) au moyen d'une matrice de formage (4). Selon ledit procédé, la surface (2) du substrat (3) est partiellement chauffée par un rayonnement laser (5) jusqu'à atteindre une température supérieure à la température de ramollissement, puis une structure négative d'une surface de matrice (6) de la m