METHOD OF PERFORMING A MAINTENANCE ACTION ON A LITHOGRAPHIC APPARATUS

Disclosed is a method of machine maintenance performed subsequent to a maintenance action in which an old machine component has been replaced by a replacement machine component. The method comprises determining a performance impact metric describing an impact on machine performance caused by the rep...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: VOSS, Thomas, SONG, Jun-Il, LANDHEER, Siebe, HAUPTMANN, Marc
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Disclosed is a method of machine maintenance performed subsequent to a maintenance action in which an old machine component has been replaced by a replacement machine component. The method comprises determining a performance impact metric describing an impact on machine performance caused by the replacement of said old machine component with said replacement 5 machine component; and degrading the replacement component such that at least a non-correctable portion of said performance impact metric is reduced and/or minimized, said non-correctable portion being a portion which cannot be corrected by a correction mechanism of said machine and/or a process performed using said machine. L'invention concerne un procédé de maintenance de machine réalisé suite à une action de maintenance dans laquelle un vieux composant de machine a été remplacé par un composant de machine de remplacement. Le procédé consiste à déterminer une métrique d'impact sur les performances décrivant un impact sur les performances de la machine provoqué par le remplacement dudit vieux composant de machine par ledit composant de machine de remplacement ; et à dégrader le composant de remplacement de telle sorte qu'au moins une partie non corrigible de ladite métrique d'impact sur les performances est réduite et/ou minimisée, ladite partie non corrigible étant une partie qui ne peut pas être corrigée par un mécanisme de correction de ladite machine et/ou un par processus effectué à l'aide de ladite machine.