SECOND ILLUMINATION MODE SELECTOR (IMS) FOR YIELDSTAR

Disclosed herein are embodiments that relate to a metrology apparatus and method for measuring multiple marks in parallel using parallel sensor concepts that geometrically arrange sensors in a space to allow parallel acquisitions. Selectors may be configured to block quadrants of a mark in order to generate images. An intensity difference between images acquired may be compared and balanced such that incoherent internal cross talk is eliminated. L'invention concerne des modes de réalisation qui concernent un appareil de métrologie et un procédé de mesure de multiples repères en parallèle à l'aide de concepts de capteurs parallèles qui permettent d'agencer géométriquement des capteurs dans un espace pour permettre des acquisitions parallèles. Des sélecteurs peuvent être conçus pour bloquer des quadrants d'un repère afin de générer des images. Une différence d'intensité entre des images acquises peut être comparée et équilibrée de telle sorte qu'une diaphonie interne incohérente est éliminée.