CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Provided is a charged particle beam device which achieves removal of a foreign matter adhering to the most distal end of a needle. The charged particle beam device comprises: a charged particle beam emission optical system that emits a charged particle beam; a sample piece relocation means provided with a sample stage that is moved while having the sample placed thereon, a needle that holds and transports a sample piece separated and extracted from the sample, and a needle drive mechanism that drives the needle; a holder fixing bed that holds a sample piece holder to which the sample piece is to be relocated; a machine learning model that has learned information including an image of the needle; and a computer that controls the charged particle beam emission optical system to process an object on the basis of the determination of the machine learning model. L'invention propose un dispositif à faisceau de particules chargées qui permet d'éliminer une matière étrangère adhérant à l'extrémité la plus distale d'une aiguille. Le dispositif à faisceau de particules chargées comprend : un système optique d'émission de faisceaux de particules chargées qui émet un faisceau de particules chargées ; un moyen de relocalisation de pièce d'échantillon pourvu d'un étage d'échantillon qui est déplacé tout en ayant l'échantillon placé sur celui-ci, une aiguille qui maintient et transporte une pièce d'échantillon séparée et extraite de l'échantillon, et un mécanisme d'entraînement d'aiguille qui entraîne l'aiguille ; un lit de fixation de support qui maintient un support de pièce d'échantillon sur lequel la pièce d'échantillon doit être relocalisée ; un modèle d'apprentissage machine qui contient des informations apprises comprenant une image de l'aiguille ; et un ordinateur qui commande le système optique d'émission de faisceaux de particules chargées pour traiter un objet sur la base de la détermination du modèle d'apprentissage machine. ニードルの最先端に付着した異物の除去を可能とする荷電粒子ビーム装置を提供する。荷電粒子ビーム装置は、荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム照射光学系と、試料を載置して移動する試料ステージと、前記試料から分離および摘出する試料片を保持して搬送するニードルと、前記ニードルを駆動するニードル駆動機構と、を備える試料片移設手段と、前記試料片が移設される試料片ホルダを保持するホルダ固定台と、前記ニードルの画像を含む情報が学習された機械学習モデルと、前記機械学習モデルの判断に基づき、対象物を加工するよう前記荷電粒子ビーム照射光学系を制御するコンピュータと、を備える。