INSPECTION MANAGEMENT SYSTEM AND METHOD

The present invention provides a technology that can improve the efficiency of an inspection process including a processing operation for transferring a plurality of wafers to a plurality of sites in an inspection system. An inspection system 1 prepares a flake from a sample (wafer) for each site that is an inspection target location, transfers the flake to a carrier, and performs an inspection-related process on each flake of the carrier, as an inspection processing sequence. An inspection management system 2 creates instruction information regarding the processing operation for removing a plurality of flakes from the plurality of sites of the plurality of samples and transferring the flakes to the plurality of carriers, including the order of transfer and the instruction for the carrier which is the transfer destination, as instruction information regarding the processing operation of the inspection processing sequence of the inspection system 1. La présente invention propose une technologie qui peut améliorer l'efficacité d'un processus d'inspection comprenant une opération de traitement permettant de transférer une pluralité de tranches à une pluralité de sites dans un système d'inspection. Un système d'inspection 1 prépare un flocon à partir d'un échantillon (tranche) pour chaque site qui est un emplacement cible d'inspection, transfère le flocon à un support, et réalise un processus lié à l'inspection sur chaque flocon du support, en tant que séquence de traitement d'inspection. Un système de gestion d'inspection 2 crée des informations d'instruction concernant l'opération de traitement pour retirer une pluralité de flocons de la pluralité de sites de la pluralité d'échantillons et transférer les flocons à la pluralité de supports, comprenant l'ordre de transfert et l'instruction pour le support qui est la destination de transfert, en tant qu'informations d'instruction concernant l'opération de traitement de la séquence de traitement d'inspection du système d'inspection 1. 検査システムでの複数のウェハの複数のサイトについての移設の処理動作を含む検査処理について、効率等を向上できる技術を提供する。検査システム１は、検査処理シーケンスとして、試料（ウェハ）から検査の対象箇所であるサイトごとに薄片を作製し、薄片をキャリアに移設し、キャリアの薄片ごとに検査に関する処理を行い、検査管理システム２は、検査システム１の検査処理シーケンスの処理動作に関する指示情報として、複数の試料の複数のサイトから複数の薄片を取り出して複数のキャリアに移設する処理動作についての、移設の順序および移設先のキャリアの指示を含む指示情報を作成する。