INSPECTION SYSTEM AND TEMPERATURE CONTROL METHOD

Provided are an inspection system and a temperature control method for inspecting a substrate while performing appropriate temperature control. The inspection system, which inspects a substrate while performing temperature control, comprises: a substrate holding unit that holds the substrate; a detection unit that supplies inspection electric power to an electrode portion of the substrate; a holding unit temperature adjustment mechanism that detects the temperature of the substrate holding unit, and adjusts the temperature of the substrate holding unit; a detection unit temperature adjustment mechanism that detects the temperature of the detection unit, and adjusts the temperature of the detection unit; and a control unit. The control unit adjusts the temperature control performed by the holding unit temperature adjustment mechanism and the detection unit temperature adjustment mechanism while the substrate is being inspected. L'invention concerne un système d'inspection et un procédé de régulation de température permettant d'inspecter un substrat tout en effectuant une régulation de température appropriée. Le système d'inspection, qui inspecte un substrat tout en effectuant une régulation de température, comprend : une unité de maintien de substrat qui maintient le substrat ; une unité de détection qui fournit de l'énergie électrique d'inspection à une partie formant électrode du substrat ; un mécanisme d'ajustement de température d'unité de maintien qui détecte la température de l'unité de maintien de substrat, et ajuste la température de l'unité de maintien de substrat ; un mécanisme d'ajustement de température d'unité de détection qui détecte la température de l'unité de détection, et ajuste la température de l'unité de détection ; et une unité de commande. L'unité de commande ajuste la commande de température effectuée par le mécanisme d'ajustement de température d'unité de maintien et le mécanisme d'ajustement de température d'unité de détection pendant que le substrat est inspecté. 好適に温度制御を行いながら基板を検査する検査システム及び温度制御方法を提供する。 温度制御を行いながら、基板を検査する検査システムであって、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板の電極部に検査電力を供給する検出部と、前記基板保持部の温度を検出し、前記基板保持部の温度を調整する保持部温度調整機構と、前記検出部の温度を検出し、前記検出部の温度を調整する検出部温度調整機構と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記保持部温度調整機構及び前記検出部温度調整機構の行う温度制御を調整しながら、前記基板の検査を行う、検査システム。