HIGH THROUGHPUT OPTICAL MEASUREMENT SYSTEM

There is provided an optical measurement system that may include a control unit, an optical unit, first and second optical heads (OHs), and first and second movement units. The optical unit is configured to direct, during a first period, an illumination beam towards the second OH. The first movement unit is arranged to move, during the first period, the first OH to a first OH measurement site of a sample while the second OH participates in performing second OH metrology iterations at a second OH measurement site of the sample. The second movement unit is configured to move the second OH, during the second period, to a new second OH measurement site of the sample while the first OH participates in performing first OH metrology iterations. The or more of the first OH metrology iterations differ from each other by the polarization parameter. L'invention concerne un système de mesure optique qui peut comprendre une unité de commande, une unité optique, des première et seconde têtes optiques et des première et seconde unités de déplacement. L'unité optique est configurée pour diriger, pendant une première période, un faisceau d'éclairage vers la seconde tête optique. La première unité de mouvement est conçue pour déplacer, au cours d'une première période, la première tête optique vers un premier site de mesure de l'échantillon par la tête optique, tandis que la seconde tête optique participe à l'exécution de secondes itérations de métrologie à tête optique sur un second site de mesure de l'échantillon par tête optique. La seconde unité de déplacement est configurée pour déplacer la seconde tête optique, au cours d'une seconde période, vers un nouveau site de mesure de l'échantillon par la seconde tête optique, tandis que la première tête optique participe à l'exécution de premières itérations de métrologie à tête optique. La ou les premières itérations de métrologie à tête optique diffèrent les unes des autres par le paramètre de polarisation.