SYSTEM AND METHOD FOR INTERFEROMETRICALLY MEASURING A DISTANCE

Die vorliegende Erfindung betrifft ein System (10) zum interferometrischen Messen eines Abstands zwischen einer Referenzfläche (20) und einer Zielfläche (22); umfassend eine durchstimmbare Strahlungsquelle (12) zum Erzeugen einer kohärenten Strahlungsemission mit einer Wellenlänge in Abhängigkeit von einem Modulationsparameter; ein Steuermodul (14), das dazu eingerichtet ist, den Modulationsparameter so zu steuern, dass die Wellenlänge der erzeugten Strahlungsemission periodisch zwischen einer ersten und einer zweiten Referenzwellenlänge moduliert wird; ein Interferometermodul (16), das dazu eingerichtet ist, anhand eines ersten Teils der Strahlungsemission eine erste Reflexion an der Referenzfläche (20) zu erzeugen und anhand eines zweiten Teils der Strahlungsemission eine zweite Reflexion an der Zielfläche (22) zu erzeugen, so dass durch die erste Reflexion und die zweite Reflexion ein Interferenzsignal erzeugt wird; ein Detektormodul (26), das dazu eingerichtet ist, das Interferenzsignal zu erfassen; und ein Auswertungsmodul (28), das dazu eingerichtet ist, anhand des erfassten Interferenzsignals eine Phasenmessung zwischen der ersten und der zweiten Referenzwellenlänge auszuführen und anhand der Phasenmessung den Abstand zwischen der Referenzfläche (20) und der Zielfläche (22) zu bestimmen. Die Erfindung betrifft ferner ein entsprechendes Verfahren. The present invention relates to a system (10) for interferometrically measuring a distance between a reference surface (20) and a target surface (22); comprising a tunable radiation source (12) for generating a coherent radiation emission having a wavelength as a function of a modulation parameter; a control module (14) configured to control the modulation parameter such that the wavelength of the generated radiation emission is modulated periodically between a first and a second reference wavelength; an interferometer module (16) configured to generate a first reflection at the reference surface (20) on the basis of a first part of the radiation emission and to generate a second reflection at the target surface (22) on the basis of a second part of the radiation emission, such that an interference signal is generated by way of the first reflection and the second reflection; a detector module (26) configured to capture the interference signal; and an evaluation module (28) configured to perform a phase measurement between the first and the second reference wavelengths on the basis of the captured interfere