APPARATUS AND METHOD FOR CONTACTLESS TRANSPORTATION OF A CARRIER

An apparatus for contactless transportation of a carrier is provided. The apparatus includes the carrier, being a substrate carrier or a mask carrier. The apparatus includes a linear reluctance motor for providing both a contactless levitation and a contactless drive of the carrier. The linear reluctance motor includes one or more linear stators defining a transportation track for the carrier. The linear reluctance motor includes a mover attached to the carrier. The linear reluctance motor includes a set of electromagnets and a first magnetic material. The one or more linear stators include the set of electromagnets and the mover includes the first magnetic material, or the mover includes the set of electromagnets and the one or more linear stators include the first magnetic material. The apparatus includes a controller connected to the set of electromagnets. Appareil de transport sans contact d'un support. L'appareil comprend le support, qui est un support de substrat ou un support de masque. L'appareil comprend un moteur à réluctance linéaire pour fournir à la fois une lévitation sans contact et un entraînement sans contact du support. Le moteur à réluctance linéaire comprend un ou plusieurs stators linéaires définissant une piste de transport pour le support. Le moteur à réluctance linéaire comprend un dispositif de déplacement fixé au support. Le moteur à réluctance linéaire comprend un ensemble d'électroaimants et un premier matériau magnétique. Le ou les stators linéaires comprennent l'ensemble d'électroaimants et le dispositif de déplacement comprend le premier matériau magnétique, ou le dispositif de déplacement comprend l'ensemble d'électroaimants et le ou les stators linéaires comprennent le premier matériau magnétique. L'appareil comprend un dispositif de commande connecté à l'ensemble d'électroaimants.