SHOWERHEAD FOR SUBSTRATE PROCESSING TOOL

One example provides a showerhead for a substrate processing tool. The showerhead comprising a faceplate comprising a plurality of outlet holes, a backplate coupled to the faceplate, a plenum between the faceplate and backplate, and a plurality of posts connecting the faceplate and the backplate, an outermost set of posts of the plurality of posts being positioned between 45% and 65% of a distance from a center of the plenum to a perimeter of the plenum and no posts being positioned between 65% and 100% of the distance from the center of the plenum to the perimeter of the plenum. Un mode de réalisation de l'invention cité à titre d'exemple concerne une pomme de douche pour un outil de traitement de substrat. La pomme de douche comprend une plaque frontale comprenant une pluralité de trous de sortie, une plaque arrière couplée à la plaque frontale, un plénum entre la plaque frontale et la plaque arrière, et une pluralité de montants reliant la plaque frontale et la plaque arrière, un ensemble le plus à l'extérieur de montants de la pluralité de montants étant positionné entre 45% et 65% d'une distance séparant un centre du plénum d'un périmètre du plénum et aucun montant n'étant positionné entre 65% et 100% de la distance séparant le centre du plénum du périmètre du plénum.