OZONE SUPPLY DEVICE AND OZONE SUPPLY METHOD

This ozone supply device comprises: an ozone generator (1) that generates ozone; an adsorbing and desorbing tower (2) that adsorbs and desorbs the ozone; an ozonized gas transfer circuit (7) for transferring ozonized gas generated in the ozone generator to the adsorbing and desorbing tower; a pressurizing mechanism (3) that introduces pressurized carrier gas to the adsorbing and desorbing tower (2) or a depressurizing mechanism (4) that depressurizes the adsorbing and desorbing tower (2); an ozone buffering device (5) that suppresses fluctuation of the concentration of the introduced ozone, wherein an adsorbent adsorbing the ozone is included in the ozone buffering device (5); and a desorbed gas transfer circuit (6) for transferring ozone desorbed from the adsorbing and desorbing tower (2) to the ozone buffering device (5) and subsequently supplying same to a supply target. Ce dispositif d'alimentation en ozone comprend : un générateur d'ozone (1) qui génère de l'ozone; une tour d'adsorption et de désorption (2) qui adsorbe et désorbe l'ozone; un circuit de transfert de gaz ozonisé (7) pour transférer le gaz ozonisé généré dans le générateur d'ozone à la tour d'adsorption et de désorption; un mécanisme de mise sous pression (3) qui introduit un gaz porteur sous pression dans la tour d'adsorption et de désorption (2) ou un mécanisme de dépressurisation (4) qui dépressurise la tour d'adsorption et de désorption (2); un dispositif tampon d'ozone (5) qui supprime la fluctuation de la concentration de l'ozone introduit, un adsorbant servant à adsorber l'ozone étant inclus dans le dispositif tampon d'ozone (5); et un circuit de transfert de gaz désorbé (6) pour transférer l'ozone désorbé de la tour d'adsorption et de désorption (2) au dispositif tampon d'ozone (5) et ensuite fournir celui-ci à une cible d'alimentation. オゾン供給装置は、オゾンを生成するオゾン発生器（１）と、前記オゾンを吸着および脱着する吸脱着塔（２）と、前記オゾン発生器で発生したオゾン化したガスを前記吸脱着塔に移送するためのオゾン化ガス移送回路（７）と、前記吸脱着塔（２）に加圧したキャリアガスを導入する加圧機構（３）、または前記吸脱着塔（２）を減圧する減圧機構（４）と、前記オゾンを吸着する吸着剤を内包するとともに導入された前記オゾンの濃度の変動を抑制するオゾン緩衝装置（５）と、前記吸脱着塔（２）から脱着されたオゾンを前記オゾン緩衝装置（５）に移送した後、供給対象に供給するための脱着ガス移送回路（６）と、を備えるようにした。