VACUUM TABLE AND METHOD FOR CLAMPING WARPED SUBSTRATES

The disclosure provides a vacuum table, comprising: a table having a top surface for supporting a substrate, the top surface being provided with at least two pressure zones, each pressure zone connected to a respective vacuum connector for providing a reduced pressure, at least one of the pressure zones being provided with grooves extending in radial direction across the top surface. Respective pressure zones may comprise corresponding grooves connected to the respective vacuum connector and extending along the top surface, the grooves of each pressure zone at least extending in a circular direction along the top surface. The radial grooves may extend like fingers from a corresponding circular groove. The radial grooves of one pressure zone extend between radial grooves of another pressure zone. L'invention concerne une table à vide, celle-ci comprenant : une table ayant une surface supérieure servant à supporter un substrat, la surface supérieure étant pourvue d'au moins deux zones de pression, chaque zone de pression étant reliée à un raccord à vide respectif pour fournir une pression réduite, au moins l'une des zones de pression étant pourvue de rainures s'étendant dans une direction radiale sur toute la surface supérieure. Les zones de pression respectives peuvent comprendre des rainures correspondantes reliées au raccord à vide respectif et s'étendant le long de la surface supérieure, les rainures de chaque zone de pression s'étendant au moins dans une direction circulaire le long de la surface supérieure. Les rainures radiales peuvent s'étendre comme des doigts à partir d'une rainure circulaire correspondante. Les rainures radiales d'une zone de pression s'étendent entre les rainures radiales d'une autre zone de pression.