LIFTER ASSEMBLY WITH BELLOWS FOR OPTICAL INSPECTION SYSTEM

A lifter assembly for an optical system includes a chuck having a chuck base and a detachable top plate, wherein the detachable top plate is one of a plurality of interchangeable detachable top plates configured to support a substrate. The lifter assembly also includes a moveable plate supporting the chuck on an upper surface of the moveable plate, the moveable plate vertically adjustable between a lower, retracted position and an upper, extended position. The lifter assembly further includes a bellows structure operatively coupled to the moveable plate. The lifter assembly yet further includes a pneumatic system fluidly coupled to the bellows structure to selectively expand and contract, wherein expansion of the bellows structure vertically adjusts the moveable plate to the upper, extended position and contraction of the bellows structure vertically adjusts the moveable plate to the lower, retracted position. Un ensemble élévateur pour un système optique comprend un mandrin ayant une base de mandrin et une plaque supérieure amovible, la plaque supérieure amovible étant l'une d'une pluralité de plaques supérieures amovibles interchangeables conçues pour supporter un substrat. L'ensemble élévateur comprend également une plaque mobile supportant le mandrin sur une surface supérieure de la plaque mobile, la plaque mobile étant réglable verticalement entre une position rétractée inférieure et une position étendue supérieure. L'ensemble élévateur comprend en outre une structure de soufflet accouplée de manière fonctionnelle à la plaque mobile. L'ensemble de levage comprend en outre un système pneumatique en communication fluidique avec la structure de soufflet pour la dilater et la contracter de manière sélective, la dilatation de la structure de soufflet réglant verticalement la plaque mobile dans la position étendue supérieure et la contraction de la structure de soufflet réglant verticalement la plaque mobile dans la position rétractée inférieure.