PRETREATMENT METHOD AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

A purpose of the present disclosure is, in a pretreatment which a sample and a conveyance member undergo before being introduced into a charged particle beam device, to inhibit heat due to cleaning from exerting an influence and to improve throughput in a series of steps of TEM examination. In this pretreatment method, a sample and a conveyance member on which the sample is held are cleaned by a cleaner and, before the sample and the conveyance member are then introduced into a charged particle beam device, the temperature of the sample and the temperature of the conveyance member are controlled so that the effect of thermal drift which may occur after the sample and the conveyance member have been introduced into the charged particle beam device is less than a threshold (see fig. 3). Un objectif de la présente divulgation est, dans un prétraitement que subissent un échantillon et un élément de transport avant d'être introduits dans un dispositif à faisceau de particules chargées, d'empêcher la chaleur créée par le nettoyage d'exercer une influence et d'améliorer le débit dans une série d'étapes d'examen de MET. Dans ce procédé de prétraitement, un échantillon et un élément de transport sur lequel l'échantillon est maintenu sont nettoyés par un dispositif de nettoyage et, avant que l'échantillon et l'élément de transport soient ensuite introduits dans un dispositif à faisceau de particules chargées, la température de l'échantillon et la température de l'élément de transport sont régulées de sorte que l'effet de dérive thermique qui peut se produire après que l'échantillon et l'élément de transport ont été introduits dans le dispositif à faisceau de particules chargées est inférieur à un seuil (cf. fig. 3). 本開示は、荷電粒子線装置に対して試料および搬送部材を導入する前に実施する前処理において、クリーニングによる熱の影響を抑止しつつ、ＴＥＭ観察の一連の工程のスループットを向上させることを目的とする。本開示に係る前処理方法は、クリーナによって試料および前記試料を搭載した搬送部材を洗浄した後、前記試料および前記搬送部材を荷電粒子線装置に対して導入する前において、前記試料および前記搬送部材を前記荷電粒子線装置へ導入した後の熱ドリフトの影響が閾値未満となるように、前記試料の温度および前記搬送部材の温度を制御する（図３参照）。