MICROELECTROMECHANICAL PRESSURE SENSOR

Ein mikroelektromechanischer Drucksensor (1, 2, 3, 4, 5) weist ein Substrat (10) und eine an einer Oberseite des (11) Substrats (10) angeordnete erste Drucksensoranordnung (13) auf. Die erste Drucksensoranordnung (13) weist eine durch eine von der Oberseite (11) des Substrats (10) abgewandte äußere Membranschicht (24) einer Schichtenfolge (14) der ersten Drucksensoranordnung (13) gebildete erste Membran (25) auf. Das Substrat (10) und die erste Membran (25) schließen eine erste Kavität (26) ein. Die Schichtenfolge (14) weist eine zwischen der Oberseite (11) des Substrats (10) und der äußeren Membranschicht (24) und in der ersten Kavität (26) angeordnete innere Membranschicht (27) auf. Die äußere Membranschicht (24) ist zumindest partiell mechanisch und/oder elektrisch zumindest mit der inneren Membranschicht (27) verbunden. A microelectromechanical pressure sensor (1, 2, 3, 4, 5) comprises a substrate (10) and a first pressure sensor assembly (13) disposed on a top side (11) of the substrate (10). The first pressure sensor assembly (13) comprises a first diaphragm (25), which is formed by an outer diaphragm layer (24) of a layer sequence (14) of the first pressure sensor assembly (13), said outer diaphragm layer being remote from the top side (11) of the substrate (10). The substrate (10) and the first diaphragm (25) enclose a first cavity (26). The layer sequence (14) comprises an inner diaphragm layer (27), which is disposed between the top side (11) of the substrate (10) and the outer diaphragm layer (24) and in the first cavity (26). The outer diaphragm layer (24) is at least partially mechanically and/or electrically connected at least to the inner diaphragm layer (27). L'invention concerne un capteur de pression micro-électromécanique (1, 2, 3, 4, 5) comportant un substrat (10) et un premier dispositif de capteur de pression (13) installé sur la face supérieure (11) du substrat. Le premier dispositif de capteur de pression (13) comporte une première membrane (25) formée par une couche de membrane (24) extérieure, opposée à la face supérieure (11) du substrat (10), d'une succession de couches (14) du premier dispositif de capteur de pression (13). Le substrat (10) et la première membrane (25) délimitent une première cavité (26). La succession de couches (14) comporte une couche de membrane intérieure (27) disposée entre la face supérieure (11) du substrat (10) et la couche de membrane extérieure (24) et dans la première cavité (26). La couche de membr