INTRAMOLECULAR STABILIZED METAL COMPLEXES WITH IMPROVED THERMAL STABILITY FOR VAPOR PHASE THIN-FILM DEPOSITION TECHNIQUES

The disclosed and claimed subject matter relates to copper (Cu), zinc (Zn), cadmium (Cd), magnesium (Mg), calcium (Ca), strontium (Sr) and barium (Ba) compounds and methods of using the compounds as precursors for deposition of metal-containing films. La divulgation concerne des composés de cuivre (...

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Hauptverfasser: IVANOV, Sergei, MAI, Lukas, HEIL, Holger, MATURI, Mark, MEHLMANN, Paul
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The disclosed and claimed subject matter relates to copper (Cu), zinc (Zn), cadmium (Cd), magnesium (Mg), calcium (Ca), strontium (Sr) and barium (Ba) compounds and methods of using the compounds as precursors for deposition of metal-containing films. La divulgation concerne des composés de cuivre (Cu), de zinc (Zn), de cadmium (Cd), de magnésium (Mg), de calcium (Ca), de strontium (Sr) et de baryum (Ba) et des procédés d'utilisation des composés en tant que précurseurs pour le dépôt de films contenant du métal.