OPTICAL MEASUREMENT DEVICE, ACQUISITION METHOD, ACQUISITION PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM

This optical measurement device comprises: a wavelength-swept light source (1) which outputs swept light, the wavelength of which continuously changes with time; an irradiation optical system (3) which emits output light for measurement, which is based on the swept light from the wavelength-swept li...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SONO, Naoki, YAMAUCHI, Takanori, GOTO, Hiroki, IMAKI, Masaharu, KOTAKE, Nobuki
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:This optical measurement device comprises: a wavelength-swept light source (1) which outputs swept light, the wavelength of which continuously changes with time; an irradiation optical system (3) which emits output light for measurement, which is based on the swept light from the wavelength-swept light source (1), as measurement light toward a measurement surface of a measurement object (7) in a space, receives reflected light resulting from the reflection of the measurement light by the measurement surface of the measurement object (7), and outputs the reflected light as reflected light for measurement; a reference light path through which output light for reference based on the swept light from the wavelength-swept light source (1) is output as reference light; a measurement information acquisition unit (5) which combines the reflected light for measurement from the irradiation optical system (3) with the reference light from the reference light path and outputs information for measurement in which the combined interference light has been photoelectrically converted; and an information processing unit (6) which obtains spectral information by subjecting the information for measurement from the measurement information acquisition unit (5) to a Fourier transformation, obtains an intensity distribution at spectral peaks in the horizontal direction of the measurement surface of the measurement object (7) on the basis of the obtained spectral information, and obtains the slope of the spectral intensity distribution. Ce dispositif de mesure optique comprend : une source de lumière (1) à balayage de longueur d'onde qui émet une lumière balayée, dont la longueur d'onde change en continu avec le temps ; un système optique (3) d'exposition à un rayonnement qui émet une lumière de sortie pour une mesure, qui est basée sur la lumière balayée en provenance de la source de lumière (1) à balayage de longueur d'onde, en tant que lumière de mesure vers une surface de mesure d'un objet de mesure (7) dans un espace, reçoit une lumière réfléchie résultant de la réflexion de la lumière de mesure par la surface de mesure de l'objet de mesure (7), et délivre la lumière réfléchie en tant que lumière réfléchie pour une mesure ; un trajet de lumière de référence à travers lequel une lumière de sortie pour une référence sur la base de la lumière balayée en provenance de la source de lumière (1) à balayage de longueur d'onde est délivrée en tant que lumière de référence ; une unité