OPTICAL SYSTEM FOR METROLOGY

An optical system comprising a double quad mirror is described. The optical system is configured to reflect two quadrants of an incident radiation beam approaching from either side of the mirror, while allowing the opposite two quadrants to transmit incident radiation. The optical system has a body with at least one transmissive surface and at least one reflective surface for radiation incident on different sides of the body. The at least one reflective surface on the body is adjacent to a recess within the body that creates an air gap for total internal reflection of radiation incident on the reflective surface toward a first target or toward a sensor. The at least one transmissive surface on the body is configured to transmit incident radiation through the body toward a second target or toward the sensor. L'invention concerne un système optique comprenant un miroir à quadrant double. Le système optique est conçu pour réfléchir deux quadrants d'un faisceau de rayonnement incident provenant de chaque côté du miroir, tout en permettant aux deux quadrants opposés de transmettre un rayonnement incident. Le système optique présente un corps comportant au moins une surface transmissive et au moins une surface réfléchissante pour le rayonnement incident sur différents côtés du corps. La ou les surfaces réfléchissantes se trouvant sur le corps sont adjacentes à un évidement à l'intérieur du corps qui crée un entrefer pour la réflexion interne totale du rayonnement incident sur la surface réfléchissante vers une première cible ou vers un capteur. La ou les surfaces transmissives se trouvant sur le corps sont conçues pour transmettre un rayonnement incident à travers le corps vers une seconde cible ou vers le capteur.