RETICLE CONTAINER WITH DIRECTED PURGE FLOW

A reticle container includes an outer pod and an inner pod, the inner pod configured to contain a reticle. The outer pod includes a pod door including a purge port, and a pod dome including one or more channels configured to receive a purge gas from the purge port and direct the purge gas to particular locations within the outer pod. The channels can direct the purge gas to one or more filters of the inner pod. The channels can direct the purge gas such that there is a pressure differential between the pressure at a first filter and the pressure at the second filter. The inner pod can include deflectors or channels to further direct the purge flow through the inner pod to purge the area surrounding the reticle. Un contenant de réticule comprend une capsule externe et une capsule interne, la capsule interne étant conçue pour contenir un réticule. La capsule externe comprend une porte de capsule comprenant un orifice de purge, et un dôme de capsule comprenant un ou plusieurs canaux conçus pour recevoir un gaz de purge provenant de l'orifice de purge et diriger le gaz de purge vers des emplacements particuliers à l'intérieur de la capsule externe. Les canaux peuvent diriger le gaz de purge vers un ou plusieurs filtres de la capsule interne. Les canaux peuvent diriger le gaz de purge de sorte à produire un différentiel de pression entre la pression au niveau d'un premier filtre et la pression au niveau du second filtre. La capsule interne peut comprendre des déflecteurs ou des canaux pour diriger l'écoulement de purge plus loin à travers la capsule interne de sorte à purger la zone circonvoisine au réticule.