ELASTIC WAVE RESONATOR AND COMMUNICATION DEVICE
In the present invention, an elastic wave resonator comprises a piezoelectric layer, an IDT electrode, and an acoustic reflection layer. The piezoelectric layer has piezoelectric properties, and has a first surface as well as a second surface that is on the opposite side from the first surface. The...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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Zusammenfassung: | In the present invention, an elastic wave resonator comprises a piezoelectric layer, an IDT electrode, and an acoustic reflection layer. The piezoelectric layer has piezoelectric properties, and has a first surface as well as a second surface that is on the opposite side from the first surface. The IDT electrode is positioned on the first surface, and has a plurality of electrode fingers. The acoustic reflection layer is positioned on the second surface, and includes a low-acoustic-impedance layer that has a lower acoustic impedance than the piezoelectric layer. The elastic wave resonator is such that 0.14≤(Ra1/T)×100, where Ra1 is the arithmetic mean roughness of at least a portion of the surfaces of the plurality of electrode fingers as seen in plan view is represented, and T is the thickness of the plurality of electrode fingers.
La présente invention concerne, un résonateur à ondes élastiques qui comprend une couche piézoélectrique, une électrode IDT et une couche de réflexion acoustique. La couche piézoélectrique présente des propriétés piézoélectriques, et comprend une première surface ainsi qu'une deuxième surface qui est sur le côté opposé à la première surface. L'électrode IDT est positionnée sur la première surface, et comporte une pluralité de doigts d'électrode. La couche de réflexion acoustique est positionnée sur la deuxième surface, et comprend une couche à faible impédance acoustique qui a une impédance acoustique inférieure à celle de la couche piézoélectrique. Le résonateur à ondes élastiques est tel que 0,14 ≤ (Ra1/T) × 100, Ra1 étant la rugosité moyenne arithmétique d'au moins une partie des surfaces de la pluralité de doigts d'électrode telle que vu dans une vue en plan, et T est l'épaisseur de la pluralité de doigts d'électrode.
弾性波共振子は、圧電体層と、IDT電極と、音響反射層と、を備える。圧電体層は、圧電性を有し、第1面と第1面とは反対側の第2面を有する。IDT電極は、第1面上に位置し、複数の電極指を有する。音響反射層は、第2面側に位置し、圧電体層よりも音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層を含む。平面視における複数の電極指の表面の少なくとも一部における算術平均粗さをRa1とし、複数の電極指の厚みをTとする。このとき、弾性波共振子は、 0.14≦(Ra1/T)×100 の関係を満たす。 |
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