SPECTROSCOPIC DEVICE AND WAVELENGTH CORRECTION METHOD
This spectroscopic device comprises: a correction light source (3); an optical filter (6) that transmits light of a prescribed wavelength region from the light from the correction light source (3); an incidence slit (SL) on which the following are incident: light (L1) to be measured and correction l...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | This spectroscopic device comprises: a correction light source (3); an optical filter (6) that transmits light of a prescribed wavelength region from the light from the correction light source (3); an incidence slit (SL) on which the following are incident: light (L1) to be measured and correction light (L2) that has traversed the optical filter (6) from the correction light source (3); a dispersion means (12) that disperses, into a dispersion image at each wavelength, the light to be measured that has passed through the incidence slit (SL) during measurement of the light to be measured, and the correction light that has passed through the incidence slit (SL) during wavelength correction; a light-receiving sensor (13) that receives the dispersion image; and an operation control means (7) that, during wavelength correction and on the basis of the correction light, determines the amount of shift from an initial position of a light-receiving position at the light-receiving sensor (13) of the dispersion image and carries out wavelength correction.
Le dispositif spectroscopique selon l'invention comprend : une source lumineuse de correction (3); un filtre optique (6) qui transmet la lumière d'une région de longueur d'onde prescrite provenant de la lumière de la source lumineuse de correction (3); une fente d'incidence (SL) sur laquelle les éléments suivants sont incidents : une lumière (L1) à mesurer et une lumière de correction (L2) ayant traversé le filtre optique (6) depuis la source lumineuse de correction (3); un moyen de dispersion (12) qui disperse, dans une image de dispersion à chaque longueur d'onde, la lumière à mesurer ayant traversé la fente d'incidence (SL) pendant la mesure de la lumière à mesurer, et la lumière de correction ayant traversé la fente d'incidence (SL) pendant la correction de longueur d'onde; un capteur de réception de lumière (13) qui reçoit l'image de dispersion; et un moyen de commande de fonctionnement (7) qui, pendant la correction de longueur d'onde et sur la base de la lumière de correction, détermine la valeur de décalage à partir de la position initiale d'une position de réception de lumière au niveau du capteur de réception de lumière (13) de l'image de dispersion, et réalise une correction de longueur d'onde.
補正用光源(3)、補正用光源(3)からの光のうち特定の波長域の光を透過させる光学フィルター(6)、被測定光(L1)及び光学フィルター(6)を透過した補正用光源(3)からの補正光(L2)が入射する入射スリット(SL)、被測定光の測定時には前記入射スリット(SL)を通過した被測定光を、波長補正時には前記入射スリット(SL)を通過した補正光を、波長毎の分散像に分散する分散手段(12)、分散像を受光する受光センサ(13)、波長補正時に |
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