PROBE CARD, PROBE PIN FOR PROBE CARD, GUIDE PLATE FOR PROBE CARD, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
The present invention relates to a probe card for inspecting defects of an inspection target, a probe pin for a probe card configured to contact the inspection target, a guide plate for a probe card configured to guide a probe pin inserted therein, and a method for manufacturing same. More particula...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; kor |
Schlagworte: | |
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Zusammenfassung: | The present invention relates to a probe card for inspecting defects of an inspection target, a probe pin for a probe card configured to contact the inspection target, a guide plate for a probe card configured to guide a probe pin inserted therein, and a method for manufacturing same. More particularly, the present invention relates to a probe card, a probe pin for a probe card, a guide plate for a probe card, and a method for manufacturing same, wherein a probe pin can be prevented from detaching downwards from an upper guide hole, probe pins can be prevented from contacting each other when an inspection target contacts the probe pins, or probe pins can be prevented from contacting each other and causing fractures or inspection errors, one side of a probe pin can be prevented from being fractured by contact and friction with the inner surface of a guide hole, when a probe pin and an inspection target contact each other, bending of the probe pin can be controlled, probe pins can be easily inserted into upper and lower guide plates, and probe pins can be easily manufactured.
La présente invention concerne une carte de test permettant d'inspecter les défauts d'une cible d'inspection, une broche de sonde pour une carte de test configurée pour entrer en contact avec la cible d'inspection, une plaque de guidage pour une carte de test configurée pour guider une broche de sonde insérée à l'intérieur, et un procédé de fabrication de cette carte. Plus particulièrement, la présente invention concerne une carte de test, une broche de sonde pour une carte de test, une plaque de guidage pour une carte de test et son procédé de fabrication, le détachement d'une broche de sonde vers le bas d'un trou de guidage supérieur pouvant être évité, le contact entre les broches de sonde lorsqu'une cible d'inspection entre en contact avec les broches de la sonde, ou le contact entre les broches de la sonde risquant de provoquer des fractures ou des erreurs d'inspection, pouvant être évité, la fracture d'un côté d'une broche de sonde due au contact et au frottement avec la surface interne d'un trou de guidage pouvant être évitée, la flexion de la broche de sonde lorsqu'une broche de sonde et une cible d'inspection entrent en contact pouvant être régulée, les broches de sonde pouvant être facilement insérées dans les plaques de guidage supérieures et inférieures, et les broches de sonde pouvant être facilement fabriquées.
본 발명은 검사 대상물의 불량을 검사하는 프로브 카드와, 검사 대상물에 접촉하는 프로브 카드용 프로브 핀과, 프 |
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