DIAMOND MANUFACTURING APPARATUS USING PLASMA AND DISK ASSEMBLY USED THEREIN

The present invention relates to a diamond manufacturing apparatus using plasma and a disk assembly used therein. The diamond manufacturing apparatus comprises: a plasma chamber including a plasma region in which plasma is formed; a disk which includes one or more connection portions and is installed in the inner space of the plasma chamber and on which a diamond seed is mounted; a first disk support which is connected to the disk and includes a first accommodation portion coupled to the connection portions; a second disk support which is on the first disk support and includes a second accommodation portion that can be coupled to the connection portions; a microwave generator which is located below the disk and radiates microwaves into the plasma chamber; and a gas injection unit which is located above the disk and provides a diamond manufacturing process gas to the plasma chamber. When at least one of the first disk support or the second disk support rotates so that the first accommodating portion and the second accommodating portion are aligned, the disk moves from the first disk support to the second disk support, and the connection portions and the second accommodation portion are coupled. La présente invention concerne un appareil de fabrication de diamant à l'aide d'un ensemble plasma et disque utilisé en son sein. L'appareil de fabrication de diamant comprend : une chambre à plasma comprenant une région de plasma dans laquelle est formé un plasma ; un disque qui comprend une ou plusieurs parties de liaison et qui est installé dans l'espace interne de la chambre à plasma et sur lequel est montée un germe de diamant ; un premier support de disque qui est relié au disque et comprend une première partie de réception accouplée aux parties de liaison ; un second support de disque qui se trouve sur le premier support de disque et comprend une seconde partie de réception qui peut être accouplée aux parties de liaison ; un générateur de micro-ondes qui est situé au-dessous du disque et rayonne des micro-ondes dans la chambre à plasma ; et une unité d'injection de gaz qui est située au-dessus du disque et fournit à la chambre à plasma un gaz de procédé de fabrication de diamant. Lorsque le premier support de disque et/ou le second support de disque tourne(nt) de telle sorte que la première partie de réception et la seconde partie de réception soient alignées, le disque se déplace du premier support de disque au second support de disque, et les parties de liai