ELECTRICAL CONNECTION TESTING
A method for testing an array of devices, each having an electrical connection between two electrodes controllable by a signal applied to a control element, comprises: applying a reference electric potential to a first electrode of the two electrodes of each device; directing a charged particle beam...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | A method for testing an array of devices, each having an electrical connection between two electrodes controllable by a signal applied to a control element, comprises: applying a reference electric potential to a first electrode of the two electrodes of each device; directing a charged particle beam onto a second electrode of the two electrodes of each device; varying a signal applied to the control element of each device; and monitoring, for each signal applied, signal charged particles from the second electrode of each device.
Un procédé de test d'un réseau de dispositifs, ayant chacun une connexion électrique entre deux électrodes commandables par un signal appliqué à un élément de commande, consiste à : appliquer un potentiel électrique de référence à une première électrode des deux électrodes de chaque dispositif ; diriger un faisceau de particules chargées sur une seconde électrode des deux électrodes de chaque dispositif ; faire varier un signal appliqué à l'élément de commande de chaque dispositif ; et surveiller, pour chaque signal appliqué, des particules chargées de signal à partir de la seconde électrode de chaque dispositif. |
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