JOSEPHSON TRAVELLING WAVE PARAMETRIC AMPLIFIER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Disclosed is a method of manufacturing a Josephson travelling wave parametric amplifier, JTWPA (400), which comprises providing, on a substrate (406), a bottom conductive layer (404, 405), a dielectric layer (408), and a top conductive layer (403), the top conductive layer at least partly forming nonlinear inductors (409), top capacitor plates of parallel plate capacitors and/or conductive strips interrupted by nonlinear inductors, wherein the top conductive layer (403) is formed using a single instance of an angled evaporation method. The nonlinear inductors (409) may comprise one or more Josephson junctions, and the bottom conductive layer (404, 405) may form a CPW transmission line structure (402). Est divulgué un procédé de fabrication d'un amplificateur paramétrique à ondes progressives Josephson (JTWPA) (400), consistant à disposer sur un substrat (406) une couche conductrice inférieure (404, 405), une couche diélectrique (408) et une couche conductrice supérieure (403), la couche conductrice supérieure formant au moins partiellement des inducteurs non linéaires (409), des plaques supérieures de condensateurs à plaques parallèles et/ou des bandes conductrices interrompues par des inducteurs non linéaires, la couche conductrice supérieure (403) étant formée par une seule mise en œuvre d'un procédé d'évaporation angulaire. Les inducteurs non linéaires (409) peuvent comprendre au moins une jonction Josephson, et la couche conductrice inférieure (404, 405) peut former une structure de ligne de transmission CPW (402).