ELECTRODEPOSITION SYSTEM WITH ION-EXCHANGE MEMBRANE IRRIGATION

Examples are disclosed that relate to irrigating an ion exchange membrane in an electrodeposition system. In one example, the electrodeposition system comprises a fluid distribution system comprising a membrane assembly that comprises a membrane frame configured to support an ion exchange membrane that defines a boundary of a cathode chamber. The fluid distribution system further comprises a high resistance virtual anode (HRVA) positioned between the membrane frame and a substrate holder, a catholyte circulation loop operable to flow catholyte in a first direction across a surface of the HRVA facing the substrate holder and a plurality of flow barriers extending between the membrane frame and the HRVA along a second direction, transverse to the first direction. Irrigation conduits are positioned between adjacent flow barriers, each irrigation conduit configured to receive catholyte from the catholyte circulation loop and to direct catholyte towards the membrane assembly via a plurality of emitters. Les exemples divulgués dans l'invention se réfèrent à l'irrigation d'une membrane échangeuse d'ions dans un système d'électrodéposition. Dans un exemple, le système d'électrodéposition comprend un système de distribution de fluide comprenant un ensemble membrane qui comprend un cadre de membrane conçu pour supporter une membrane d'échange d'ions définissant une limite d'une chambre de cathode. Le système de distribution de fluide comprend en outre une anode virtuelle haute résistance (HRVA) positionnée entre le cadre de membrane et un support de substrat, une boucle de circulation de catholyte permettant de faire circuler un catholyte dans une première direction à travers une surface de la HRVA faisant face au support de substrat, et une pluralité de barrières d'écoulement s'étendant entre le cadre de membrane et la HRVA le long d'une seconde direction, transversale à la première direction. Des conduits d'irrigation sont positionnés entre des barrières d'écoulement adjacentes, chaque conduit d'irrigation étant conçu pour recevoir le catholyte provenant de la boucle de circulation de catholyte et pour diriger le catholyte vers l'ensemble membrane par l'intermédiaire d'une pluralité d'émetteurs.