METHOD FOR MANUFACTURING AN ALUMINIUM OXIDE OPTICAL WAVEGUIDE, AND ALUMINIUM OXIDE OPTICAL WAVEGUIDE

The application concerns a method for manufacturing an optical waveguide. The method comprising providing a substrate, depositing an aluminium oxide waveguide core on the substrate, and arranging a cladding layer on the deposited aluminium oxide waveguide core. The arranging comprising at least one processing step during which the deposited aluminium oxide waveguide core is subjected to a given maximum temperature. The method is characterized in that depositing the aluminium oxide waveguide core comprises forming nano-crystallites in the aluminium oxide waveguide core, and that the temperature the aluminium oxide waveguide core would be required to have for significantly increasing a size of the formed nano¬ crystallites during arranging of the cladding layer exceeds the given maximum temperature, wherein the given maximum temperature is about 800 degrees Celsius or higher. La demande concerne un procédé de fabrication d'un guide d'ondes optique. Le procédé comprenant la fourniture d'un substrat, le dépôt d'un cœur de guide d'ondes d'oxyde d'aluminium sur le substrat, et l'agencement d'une couche de gainage sur le cœur de guide d'ondes d'oxyde d'aluminium déposé. L'agencement comprenant au moins une étape de traitement au cours de laquelle le cœur de guide d'ondes en oxyde d'aluminium déposé est soumis à une température maximale donnée. Le procédé est caractérisé en ce que le dépôt du cœur de guide d'ondes d'oxyde d'aluminium comprend la formation de nano-cristallites dans le cœur de guide d'ondes d'oxyde d'aluminium, et en ce que la température du cœur de guide d'ondes d'oxyde d'aluminium doit avoir pour augmenter significativement une taille des nano-cristallites formés pendant l'agencement de la couche de gainage dépasse la température maximale donnée, la température maximale donnée étant d'environ 800 degrés Celsius ou plus.