SILICA GLASS BODY MANUFACTURING METHOD AND HEATING DEVICE

This silica glass body manufacturing method comprises the steps of: preheating a porous silica glass body; and placing the preheated porous silica glass body in a resonator, which resonates microwaves having a frequency band of 1-30 GHz, to microwave-heat the porous silica glass body. Additives other than silicon and oxygen are added to at least a portion of the porous silica glass body. In the preheating step, the porous silica glass body is preheated to have a temperature higher than or equal to the glass transition temperature of the additive portion of porous silica glass to which the additives have been added. In the microwave-heating step, the porous silica glass to which the additives have been added is microwave-heated. La présente invention concerne un procédé de fabrication de corps en verre de silice comprenant les étapes consistant : à préchauffer un corps en verre de silice poreux ; et à placer le corps en verre de silice poreux préchauffé dans un résonateur, qui résonne des micro-ondes ayant une bande de fréquences de 1 à 30 GHz, pour chauffer par micro-ondes le corps en verre de silice poreux. Des additifs autres que le silicium et l'oxygène sont ajoutés à au moins une partie du corps en verre de silice poreux. Dans l'étape de préchauffage, le corps en verre de silice poreux est préchauffé pour avoir une température supérieure ou égale à la température de transition vitreuse de la partie additive du verre de silice poreux auquel les additifs ont été ajoutés. Dans l'étape de chauffage par micro-ondes, le verre de silice poreux auquel les additifs ont été ajoutés est chauffé par micro-ondes. シリカガラス体の製造方法は、多孔質シリカガラス体を予備加熱する工程と、１ＧＨｚ以上３０ＧＨｚ以下の周波数帯を有するマイクロ波を共振させた共振器内に予備加熱された多孔質シリカガラス体を位置させて多孔質シリカガラス体をマイクロ波で加熱する工程と、を備える。多孔質シリカガラス体の少なくとも一部には、ケイ素及び酸素以外の添加物が添加されている。予備加熱する工程では、多孔質シリカガラスのうち添加物が添加された添加部分のガラス転移温度以上になるように、多孔質シリカガラス体が予備加熱される。マイクロ波で加熱する工程では、添加物が添加された多孔質シリカガラスがマイクロ波で加熱される。