FLUID SUPPLY MECHANISM AND FLUID SUPPLY METHOD

Provided is a fluid supply mechanism 100 that repeatedly supplies and stops supply of a fluid to a chamber CH, the fluid supply mechanism 100 comprising: a fluid supply path L1 that communicates with the chamber 100; a tank T provided to the fluid supply path L1, the fluid being introduced into the tank T; and a downstream-side valve Vd provided on the downstream side of the tank T in the fluid supply path. The internal volume of the tank T changes due to deformation. L'invention concerne un mécanisme d'alimentation en fluide 100 qui fournit et arrête de manière répétée l'alimentation d'un fluide vers une chambre CH, le mécanisme d'alimentation en fluide 100 comprenant : un trajet d'alimentation en fluide L1 qui communique avec la chambre 100; un réservoir T prévu sur le trajet d'alimentation en fluide L1, le fluide étant introduit dans le réservoir T; et une soupape côté aval Vd disposée sur le côté aval du réservoir T dans le trajet d'alimentation en fluide. Le volume interne du réservoir T change en raison de la déformation. チャンバＣＨへの流体の供給と停止とを繰り返す流体供給機構１００であって、チャンバ１００に連通する流体供給路Ｌ１と、流体供給路Ｌ１に設けられて流体が導入されるタンクＴと、流体供給路におけるタンクＴの下流側に設けられた下流側バルブＶｄと、を備え、タンクＴが、変形することにより内部容積が変わるものである。