ADC CALIBRATION FOR MICROSCOPY

A method of calibrating analog-to-digital converters, ADCs, of a charged particle-optical device comprises: providing, for each of the ADCs, image data of charged particles detected from a sample output by the ADC; calculating, for each of the ADCs, at least one statistical value from a distribution...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BRANDT, Pieter, MARTINEZ NEGRETE GASQUE, Diego, MOOK, Hindrik, DAVE, Dhara, STYLIANOU, Antri, BEUGIN, Vincent
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A method of calibrating analog-to-digital converters, ADCs, of a charged particle-optical device comprises: providing, for each of the ADCs, image data of charged particles detected from a sample output by the ADC; calculating, for each of the ADCs, at least one statistical value from a distribution of the image data output by the ADC; and changing at least one setting of at least one of the ADCs based on the calculated at least one statistical values so as to compensate for any mismatch between the at least one statistical value of the ADCs. Un procédé d'étalonnage de convertisseurs analogique-numérique, CAN, d'un dispositif optique à particules chargées consiste à : fournir, pour chacun des CAN, des données d'image de particules chargées détectées à partir d'un échantillon fourni par le CAN ; calculer, pour chacun des CAN, au moins une valeur statistique à partir d'une distribution des données d'image fournies par le CAN ; et changer au moins un réglage d'au moins l'un des CAN sur la base de la ou des valeurs statistiques calculées de façon à compenser toute discordance entre la ou les valeurs statistiques des CAN.