METHOD FOR REDUCING VIBRATION USING SEGMENTED ACCELERATION

The motion of a mechanical stage may be directed in x-, y-, and/or z-dimensions such that excitation of a resonant frequency f is reduced. In particular, once a resonant frequency f is identified, the acceleration of the stage in the x-, y-, and/or z-dimensions may divided into an even number of acceleration segments or intervals, with the second of each pair of acceleration segments starting 1/(2f) seconds after the start of the initial acceleration segment. The acceleration intervals may be defined by a start time, an amplitude profile, and/or a time duration. In some implementations, the amplitude and time duration of each acceleration pulse may be different. The amplitude and time duration of acceleration steps may be determined and adjusted to compensate for the particular resonance frequency of an individual system, and programmed into a controller for the stage using motor programming controls. Le mouvement d'un étage mécanique peut être dirigé dans des dimensions x, y et/ou z de telle sorte que l'excitation d'une fréquence de résonance f est réduite. En particulier, une fois qu'une fréquence de résonance f est identifiée, l'accélération de l'étage dans les dimensions x, y et/ou z peut être divisée en un nombre pair de segments ou d'intervalles d'accélération, le second de chaque paire de segments d'accélération commençant 1/(2f) secondes après le début du segment d'accélération initial. Les intervalles d'accélération peuvent être définis par un temps de début, un profil d'amplitude et/ou une durée. Dans certains modes de réalisation, l'amplitude et la durée de chaque impulsion d'accélération peuvent être différentes. L'amplitude et la durée des étapes d'accélération peuvent être déterminées et ajustées pour compenser la fréquence de résonance particulière d'un système individuel, et programmées dans un dispositif de commande pour l'étage à l'aide de commandes de programmation de moteur.