SELF-REGULATING GAS SENSOR

The present disclosure relates to semiconductor metal oxide (SMO)-based gas sensors comprising a micro-heating element. It discloses a mechanism for automatically correcting baseline drift. The miniaturised gas sensor comprises two double-stage layers of thin-film sensitive materials. One is projected directly into the environment in order to monitor air quality. The other is encapsulated in the cavity of the gas sensor, isolated from ambient air. Self-calibration of the gas sensor is based on the change in electrical properties of the isolated sensitive material. La présente divulgation concerne les capteurs de gaz à base de matériaux d'oxyde métallique semi-conducteur (SMO) comprenant un micro-élément chauffant. Elle divulgue un mécanisme permettant de corriger automatiquement la dérive de la ligne de base. Le capteur de gaz miniaturisé comprend deux couches à double-étage de matériaux sensibles en film mince. L'une est projetée directement dans l'environnement pour surveiller la qualité de l'air. L'autre est encapsulée dans la cavité du capteur de gaz, isolée de l'air ambiant. L'auto-calibrage du capteur de gaz est basé sur le changement des propriétés électriques du matériau sensible isolé.