PIEZOELECTRIC ELEMENT AND ELECTRONIC DEVICE

A piezoelectric element according to the present invention comprises a first electrode, a piezoelectric layer containing a piezoelectric material doped with a metallic element, and a second electrode such that the first electrode, the piezoelectric layer, and the second electrode are stacked in this...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: NAKAI, Takahiro, NAKAMURA, Daisuke, TSUBURAOKA, Gaku, AOKI, Yuzuki
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:A piezoelectric element according to the present invention comprises a first electrode, a piezoelectric layer containing a piezoelectric material doped with a metallic element, and a second electrode such that the first electrode, the piezoelectric layer, and the second electrode are stacked in this order on a support substrate. The piezoelectric layer includes a first piezoelectric layer and a second piezoelectric layer. The second piezoelectric layer is provided on at least one of the top surface and the undersurface of the first piezoelectric layer and contains the metallic element with a lower concentration than the concentration of the metallic element contained in the first piezoelectric layer. Un élément piézoélectrique selon la présente invention comprend une première électrode, une couche piézoélectrique contenant un matériau piézoélectrique dopé avec un élément métallique, et une seconde électrode de sorte que la première électrode, la couche piézoélectrique et la seconde électrode soient empilées dans cet ordre sur un substrat de support. La couche piézoélectrique comprend une première couche piézoélectrique et une seconde couche piézoélectrique. La seconde couche piézoélectrique est disposée sur la surface supérieure et/ou la surface inférieure de la première couche piézoélectrique et contient l'élément métallique doté d'une concentration inférieure à la concentration de l'élément métallique contenu dans la première couche piézoélectrique. 本発明に係る圧電素子は、支持基材上に、第1の電極と、金属元素がドープされた圧電材料を有する圧電体層と、第2の電極とをこの順に積層して備え、前記圧電体層は、第1圧電体層と、第2圧電体層とを有し、前記第2圧電体層は、前記第1圧電体層の上面及び下面の少なくとも一方に設けられ、前記第1圧電体層に含まれる前記金属元素の濃度よりも低い前記金属元素の濃度を有する。