ULTRASONIC TRANSDUCER

This ultrasonic transducer comprises: a frame 30 having a first gap 36a and a second gap 36b that is provided above the first gap and close to the first gap, the frame surrounding the first gap in plan view; a substrate 10 provided with a membrane 32 provided to a central section of the first gap in plan view, and a plurality of beams 34 provided within the first gap in plan view, the plurality of beams mechanically connecting the frame and the membrane and surrounding the second gap together with the frame and the membrane in plan view; piezoelectric layers 14 provided to each of at least two beams from among the plurality of beams; and at least two oscillation layers 18, each of which is provided with a first electrode 12 and a second electrode 16 that face each other across at least one of the piezoelectric layers. The piezoelectric layers between the at least two oscillation layers are separated from one another on the membrane. La présente invention concerne un transducteur ultrasonore qui comprend : un cadre (30) ayant un premier espace (36a) et un second espace (36b) qui est disposé au-dessus du premier espace et à proximité du premier espace, le cadre entourant le premier espace dans une vue en plan; un substrat (10) pourvu d'une membrane (32) disposée sur une section centrale du premier espace dans une vue en plan, et une pluralité de poutres (34) disposées à l'intérieur du premier espace dans une vue en plan, la pluralité de poutres reliant mécaniquement le cadre et la membrane et entourant le second espace conjointement avec le cadre et la membrane dans une vue en plan; des couches piézoélectriques (14) disposées sur chacun d'au moins deux faisceaux parmi la pluralité de faisceaux; et au moins deux couches d'oscillation (18), dont chacune est pourvue d'une première électrode (12) et d'une seconde électrode (16) qui se font face à travers au moins l'une des couches piézoélectriques. Les couches piézoélectriques entre les au moins deux couches d'oscillation sont séparées l'une de l'autre sur la membrane. 超音波トランスデューサは、第１空隙３６ａと、前記第１空隙の上方において、前記第１空隙に接して設けられる第２空隙３６ｂと、を有し、平面視において前記第１空隙を囲むフレーム３０と、平面視において前記第１空隙の中央部に設けられたメンブレン３２と、平面視において前記第１空隙内に設けられ、前記フレームと前記メンブレンとを機械的に接続し、平面視において前記フレームと前記メンブレンとで前記第２空隙を囲む複数の梁３４と、を備える基板１０と、前記複数の梁のうち少なくとも２つの梁上にそれぞれ設けられ、圧電層１４と、前記圧電層の少なくとも一部を挟み対向する第１電極１２および第２電極１６と、を各々備える少なくとも２つの振動層１８と、を備え、前記メンブレン上において、前記少なくとも２つの振動層における前記圧電層は互いに分離されている。