STAGE

This stage comprises: a first metal plate having a first groove; a second metal plate positioned under the first metal plate and having a through-opening; a third metal plate positioned under the second metal plate and having a second groove; a heat insulating portion in which the first groove, the through-opening, and the second groove communicate with each other; a first circulation path and a first heater provided in at least one of the first metal plate, the second metal plate, and the third metal plate; and at least one of a second circulation path and a second heater. The first circulation path and the second circulation path are provided in a first region bounded by the heat insulating portion. The first heater and the second heater are provided in a second region bounded by the heat insulating portion opposite the first region. La platine de l'invention contient : une première plaque métallique contenant une première rainure ; une seconde plaque métallique contenant un orifice traversant, et positionnée au-dessous de la première plaque métallique ; une troisième plaque métallique contenant une seconde rainure, et positionnée au-dessous de la seconde plaque métallique ; une partie isolation thermique telle que la première rainure, l'orifice traversant et la seconde rainure communiquent ; un premier trajet d'écoulement circulaire ainsi qu'un premier élément chauffant agencés sur une des première, seconde ou troisième plaques métalliques ; et un second trajet d'écoulement circulaire et/ou un second élément chauffant. Le premier et le second trajet d'écoulement circulaire sont agencés dans une première région ayant la partie isolation thermique pour interface. Le premier et le second élément chauffant sont agencés dans une seconde région opposée à la première région ayant la partie isolation thermique pour interface. ステージは、第１の溝を含む第１の金属プレートと、第１の金属プレートの下方に位置する、貫通口を含む第２の金属プレートと、第２の金属プレートの下方に位置する、第２の溝を含む第３の金属プレートと、第１の溝、貫通口、および第２の溝が互いに連通した断熱部と、第１の金属プレート、第２の金属プレート、および第３の金属プレートのうちの１つに設けられる第１の環流路および第１のヒータと、第２の環流路および第２のヒータの少なくとも１つと、を含み、第１の環流路および第２の環流路は、断熱部を境界とする第１の領域に設けられ、第１のヒータおよび第２のヒータは、断熱部を境界とする第１の領域の反対の第２の領域に設けられる。