SYSTEMS FOR PATH COMPENSATION WITH A MOVING OBJECTIVE

Disclosed is a mirror set having a first mirror, a second mirror, and a movable stage to which the mirror set is mounted to cause the first mirror and the second mirror to move together with the movable stage. The first mirror is configured to receive a beam at a first angle from an axis of the mirror set and the second mirror is configured to provide the beam at a second angle from the axis of the mirror set, the beam providing an output after reflection by the second mirror. Movement of the mirror set parallel to the axis results in a parallel shift of the output along the beam movement of the mirror set perpendicular to the axis results in a perpendicular shift of the output perpendicular to the beam. L'invention concerne un ensemble de miroirs comportant un premier miroir, un second miroir et un plateau mobile sur lequel l'ensemble de miroirs est monté pour amener le premier miroir et le second miroir à se déplacer conjointement avec le plateau mobile. Le premier miroir est configuré pour recevoir un faisceau à un premier angle à partir d'un axe de l'ensemble de miroirs, et le second miroir est configuré pour fournir le faisceau à un second angle par rapport à l'axe de l'ensemble de miroirs, le faisceau étant émis après avoir été réfléchi par le second miroir. Le déplacement de l'ensemble de miroirs de façon parallèle à l'axe entraîne un décalage parallèle de la sortie le long du faisceau, et le déplacement de l'ensemble de miroirs de façon perpendiculaire à l'axe entraîne un décalage perpendiculaire de la sortie perpendiculaire au faisceau.