MULTI-BEAM PARTICLE MICROSCOPE WITH IMPROVED BEAM TUBE
The invention discloses a multi-beam particle microscope. It comprises, among other things, a particle source 301, which is configured to emit charged particles, and it comprises a multi-aperture arrangement 305, which is configured to generate a first field of a multiplicity of charged first indivi...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| Zusammenfassung: | The invention discloses a multi-beam particle microscope. It comprises, among other things, a particle source 301, which is configured to emit charged particles, and it comprises a multi-aperture arrangement 305, which is configured to generate a first field of a multiplicity of charged first individual particle beams 3 from the charged particles. A beam tube portion 705 is arranged between the particle source and the multi-aperture arrangement, wherein a condenser lens system 303 with a magnetic lens 303a,b can be arranged in the region of the beam tube portion. The beam tube portion comprises pure titanium or a titanium alloy, or the beam tube portion consists of pure titanium or a titanium alloy. For the permeability coefficient µR of the pure titanium or of the titanium alloy, it holds true that: µR ≤ 1.0005, in particular µR ≤ 1.00005. This measure makes it possible to generate individual particle beams of better quality.
L'invention concerne un microscope à particules à faisceaux multiples. Il comprend, entre autres, une source de particules (301), qui est configurée pour émettre des particules chargées, et il comprend un agencement à ouvertures multiples (305), qui est configuré pour générer un premier champ d'une multiplicité de premiers faisceaux de particules individuels chargés (3) à partir des particules chargées. Une partie de tube à faisceau (705) est disposée entre la source de particules et l'agencement à ouvertures multiples, un système de lentille de condenseur (303) avec une lentille magnétique (303a, b) pouvant être disposé dans la région de la partie de tube à faisceau. La partie de tube à faisceau comprend du titane pur ou un alliage de titane, ou la partie de tube à faisceau est constituée de titane pur ou d'un alliage de titane. Pour le coefficient de perméabilité μR du titane pur ou de l'alliage de titane, il est vrai que : μR ≤ 1,0005, en particulier µR ≤ 1,00005. Cette mesure permet de générer des faisceaux de particules individuels de meilleure qualité. |
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