PERIMETER FRAME FOR SPACING RETICLE PODS

A spacer for parts of a reticle pod includes spacer contacts configured to contact alignment features of a cover and a baseplate of the reticle pod such that the cover and baseplate are separated by a gap. The spacer includes a frame connecting at least two of the spacer contacts. The frame can include a spring arm allowing deformation such that the spacer contacts can be moved relative to one another to facilitate interfacing with the alignment features. The spacer contacts can be configured to surround pins included in the alignment features. The spacer contacts can be configured to be inserted into lead-in portions of channels included in the alignment features. Un élément d'espacement pour des parties d'un boîtier à réticule comprend des contacts d'espacement configurés pour mettre en contact des éléments d'alignement d'un couvercle et d'une plaque de base du boîtier à réticule de sorte que le couvercle et la plaque de base soient séparés par un espace. L'élément d'espacement comprend un cadre reliant au moins deux des contacts d'espacement. Le cadre peut comprendre un bras de ressort permettant une déformation de sorte que les contacts d'espacement puissent être déplacés les uns par rapport aux autres pour faciliter l'interfaçage avec les éléments d'alignement. Les contacts d'espacement peuvent être configurés pour entourer des broches incluses dans les éléments d'alignement. Les contacts d'espacement peuvent être configurés pour être insérés dans des parties d'entrée de canaux inclus dans les éléments d'alignement.