GENERATION AND UTILIZATION OF VIRTUAL FEATURES FOR PROCESS MODELING

A method includes receiving profile data of a plurality of features of a substrate. The method further includes generating a typical profile based on the profile data of the plurality of features. The method further includes generating a first array of features. Each of the first array of features is based on the typical profile. The method further includes providing the first array of features to a process model. The method further includes obtaining first output from the process model based on the first array of features. The method further includes causing performance of a corrective action in view of the first output from the process model. La présente invention concerne un procédé qui consiste à recevoir des données de profil d'une pluralité de caractéristiques d'un substrat. Le procédé consiste également à générer un profil type sur la base des données de profil de la pluralité de caractéristiques. Le procédé consiste en outre à générer un premier ensemble de caractéristiques. Chaque caractéristique du premier ensemble de caractéristiques est basé sur le profil type. Le procédé consiste aussi à fournir le premier ensemble de caractéristiques à un modèle de processus. Le procédé consiste ensuite à obtenir une première sortie du modèle de processus sur la base du premier ensemble de caractéristiques. Le procédé consiste enfin à provoquer l'exécution d'une action corrective en fonction de la première sortie du modèle de processus.