EUV-TRANSMISSIVE FILM, METHOD FOR USING SAME, AND EXPOSURE METHOD

Provided is an EUV-transmissive film in which EUV absorption by a protective layer causing a decrease in EUV transmittance can be suppressed, thereby enabling exhibition of high EUV transmittance at the time of exposure. The EUV-transmissive film comprises: a main layer (12) formed of a single layer or a composite layer including two or more layers and having an EUV transmittance of 85% or higher at a wavelength of 13.5 nm; and a protective layer (14) covering at least one side of the main layer and containing, as a major component, at least one selected from the group consisting of amorphous carbon, Cu, Al, and organic resist. L'invention concerne un film transmettant les EUV dans lequel il est possible de supprimer une diminution de la transmittance des EUV provoquée par l'absorption des EUV par une couche protectrice, ce qui permet de présenter une forte transmittance des EUV au moment de l'exposition. Le film transmettant les EUV comprend : une couche principale (12) formée d'une couche unique ou d'une couche composite comprenant deux couches ou plus et ayant une transmittance des EUV de 85 % ou plus à une longueur d'onde de 13,5 nm ; et une couche protectrice (14) qui recouvre au moins un côté de la couche principale et qui contient, en tant que composant principal, au moins un élément choisi parmi le carbone amorphe, le Cu, l'Al et une résine photosensible organique. ＥＵＶ透過率低下の要因となっていた保護層によるＥＵＶ吸収を抑制することができ、それにより露光時に高いＥＵＶ透過率を呈することが可能なＥＵＶ透過膜が提供される。このＥＵＶ透過膜は、波長１３．５ｎｍにおけるＥＵＶ透過率が８５％以上の、単層、又は２層以上の複合層で構成される主層（１２）と、主層の少なくとも片面を覆う保護層であって、非晶質炭素、Ｃｕ、Ａｌ及び有機レジストからなる群から選択される少なくとも１種を主成分として含む保護層（１４）とを備える。