METHOD FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR BODY, SEMICONDUCTOR BODY AND POWER SEMICONDUCTOR DEVICE
According to an embodiment, the method for producing a semiconductor body (10) comprises the step of providing a first semiconductor layer (1) of SiC, a further step of introducing carbon into the first semiconductor layer so that at least a portion of the first semiconductor layer becomes at least...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | According to an embodiment, the method for producing a semiconductor body (10) comprises the step of providing a first semiconductor layer (1) of SiC, a further step of introducing carbon into the first semiconductor layer so that at least a portion of the first semiconductor layer becomes at least one C-rich region (11) and a step of growing a second semiconductor layer (2) of SiC on the first semiconductor layer comprising the at least one C-rich region.
Selon un mode de réalisation, le procédé de production d'un corps semi-conducteur (10) comprend l'étape consistant à fournir une première couche semi-conductrice (1) de SiC, une étape supplémentaire consistant à introduire du carbone dans la première couche semi-conductrice de telle sorte qu'au moins une partie de la première couche semi-conductrice devient au moins une région riche en C (11) et une étape consistant à faire croître une seconde couche semi-conductrice (2) de SiC sur la première couche semi-conductrice comprenant la ou les régions riches en C. |
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