EXTREMUM-SEEKING CONTROL APPARATUSES AND METHODS FOR AUTOMATIC FREQUENCY TUNING

A RF generator includes a RF power source configured to generate an output signal at an output frequency, and an extremum-seeking frequency controller configured to generate a frequency control signal. The frequency control signal varies the output frequency of the RF power source, and the frequency control signal is formed from a gradient signal. The RF generator further includes a gradient estimator configured to generate the gradient signal. A frequency of the frequency control signal is adjusted based on the gradient signal. The gradient estimator is configured to receive frequency values of the frequency control signal and corresponding output response values, and the gradient signal is generated based on the frequency values and the output response values. Other example RF generators, methods for extremum-seeking frequency control of a RF generator, and control systems for controlling a RF generator are also disclosed. Un générateur RF comprend une source d'alimentation RF configurée pour générer un signal de sortie à une fréquence de sortie, et un dispositif de commande de fréquence à recherche d'extremum configuré pour générer un signal de commande de fréquence. Le signal de commande de fréquence fait varier la fréquence de sortie de la source d'alimentation RF, et le signal de commande de fréquence est formé à partir d'un signal de gradient. Le générateur RF comprend en outre un estimateur de gradient configuré pour générer le signal de gradient. Une fréquence du signal de commande de fréquence est ajustée en fonction du signal de gradient. L'estimateur de gradient est configuré pour recevoir des valeurs de fréquence du signal de commande de fréquence et des valeurs de réponse de sortie correspondantes, et le signal de gradient est généré en fonction des valeurs de fréquence et des valeurs de réponse de sortie. D'autres générateurs RF donnés à titre d'exemple, des procédés de commande de fréquence à recherche d'extremum d'un générateur RF, et des systèmes de commande permettant de commander un générateur RF sont également divulgués.