MEMS SWITCH

A microelectromechanical system (MEMS) switch (100) that is implemented with a coplanar waveguide (104). The MEMS switch (100) includes an input terminal (124) and an output terminal (128). The MEMS switch (100) includes a beam (132) extending between the input terminal (124) and the output terminal (128). The beam (132) includes a first edge (136) and a second edge (140) coupled to a gate (190) of the MEMS switch (100). The beam (132) includes a third edge (144) proximate the input terminal (124), the first edge (136) includes a first set of finger contacts (184) proximate a first corner of the beam (132) and a second set of finger contacts (186) proximate a second comer of the beam (132). The beam (132) includes a fourth edge (148) proximate the output terminal (128), the fourth edge (148) opposing the third edge (144). The MEMS switch (100) has a first anchor (164) coupled to the input terminal (124). The first anchor (164) includes a first segment (176) extending from a region proximate the input terminal (124) to a region overlying the first set of fingers contacts (184). Commutateur de système micro-électromécanique (MEMS) (100) qui est mis en œuvre avec un guide d'ondes coplanaire (104). Le commutateur MEMS (100) comprend une borne d'entrée (124) et une borne de sortie (128). Le commutateur MEMS (100) comprend un faisceau (132) s'étendant entre la borne d'entrée (124) et la borne de sortie (128). Le faisceau (132) comprend un premier bord (136) et un deuxième bord (140) couplés à une grille (190) du commutateur MEMS (100). Le faisceau (132) comprend un troisième bord (144) à proximité de la borne d'entrée (124), le premier bord (136) comprenant un premier ensemble de contacts de doigt (184) à proximité d'un premier coin du faisceau (132) et un second ensemble de contacts de doigt (186) à proximité d'un second coin du faisceau (132). Le faisceau (132) comprend un quatrième bord (148) à proximité de la borne de sortie (128), le quatrième bord (148) étant à l'opposé du troisième bord (144). Le commutateur MEMS (100) comporte un premier ancrage (164) couplé à la borne d'entrée (124). Le premier ancrage (164) comprend un premier segment (176) s'étendant d'une région à proximité de la borne d'entrée (124) à une région recouvrant le premier ensemble de contacts de doigts (184).