MAGNETIC SENSOR AND MAGNETIC MEASUREMENT METHOD

A magnetic sensor 1 according to an aspect of the present invention comprises: a magnetic detection unit 2 that includes a magnetoresistance effect element 10 having a fixed magnetic layer 11, a free magnetic layer 13, and an intermediate layer 12 formed between the fixed magnetic layer 11 and the f...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: NAGANUMA, Kazufumi, SAWATAISHI, Tomoyuki, UMETSU, Eiji, KIKUCHI, Kanta
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:A magnetic sensor 1 according to an aspect of the present invention comprises: a magnetic detection unit 2 that includes a magnetoresistance effect element 10 having a fixed magnetic layer 11, a free magnetic layer 13, and an intermediate layer 12 formed between the fixed magnetic layer 11 and the free magnetic layer 13; a magnetic field calculation unit 4 that calculates a measurement magnetic field on the basis of outputs from the magnetic detection unit 2; and a saturation magnetic field application unit 3 that applies a magnetic field to the free magnetic layer 13 in a direction along the measurement magnetic field to magnetically saturate the free magnetic layer 13. The magnetic field calculation unit 4 calculates the measurement magnetic field on the basis of a first output from the magnetic detection unit 2 obtained when the measurement magnetic field is being applied to the free magnetic layer 13 and a second output from the magnetic detection unit 2 obtained when the free magnetic layer 13 is magnetically saturated, so that 1/f noise can be removed and a small magnetic field can be measured with high accuracy. Un capteur magnétique 1 selon un aspect de la présente invention comprend : une unité de détection magnétique 2 qui comprend un élément à effet de magnétorésistance 10 comportant une couche magnétique fixe 11, une couche magnétique libre 13, et une couche intermédiaire 12 formée entre la couche magnétique fixe 11 et la couche magnétique libre 13 ; une unité de calcul de champ magnétique 4 qui calcule un champ magnétique de mesure sur la base de sorties provenant de l'unité de détection magnétique 2 ; et une unité d'application de champ magnétique de saturation 3 qui applique un champ magnétique à la couche magnétique libre 13 dans une direction le long du champ magnétique de mesure pour saturer magnétiquement la couche magnétique libre 13. L'unité de calcul de champ magnétique 4 calcule le champ magnétique de mesure sur la base d'une première sortie provenant de l'unité de détection magnétique 2 obtenue lorsque le champ magnétique de mesure est appliqué à la couche magnétique libre 13 et d'une seconde sortie provenant de l'unité de détection magnétique 2 obtenue lorsque la couche magnétique libre 13 est magnétiquement saturée, de telle sorte qu'un bruit 1/f peut être éliminé et qu'un petit champ magnétique peut être mesuré avec une précision élevée. 本発明の一態様に係る磁気センサ1は、固定磁性層11、フリー磁性層13、および固定磁性層11とフリー磁性層13との間に形成された中間層12を有する磁気抵抗効果素子10を備えた磁気検知部2と