SURFACE WAVE SENSOR DEVICE
Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung, die ein, insbesondere piezoelektrisches, Trägermaterial aufweist. Ferner umfasst die Sensorvorrichtung mindestens einen Interdigitaltransducer, welcher als Sender (IDTs) und als Empfänger (IDTe) ausgebildet ist und auf dem Trägermaterial angeordnet ist,...
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
Schlagworte: | |
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